常見問題
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光掩膜基本品質項目
1. 外觀品質
(缺陷、異物、光學濃度不足、透射率不足、劃傷、頂傷等)
2. 圖形尺寸精度(CD精度)
(也稱為短尺寸精度,包括絕對精度、CD均勻性、CD線形等)
3. 圖形位置精度(Registration精度)
◆ 圖形總長精度(TP精度,也稱為長尺寸精度)
◆ 圖形套合精度(Overlay精度)
◆ 圖形居中精度(Centrality精度)
常見缺陷有以下幾種:
以下是光掩膜的基本制作流程: